三坐標測量機的直線度偏差有：沿Y方向測量的X軸的直線度；
沿Z方向測量的X軸的直線度；
沿X方向測量的Y軸的直線度；
沿Z方向測量的Y軸的直線度；
沿X方向測量的Z軸的直線度；
沿Y方向測量的Z軸的直線度。
．三坐標測量機的旋轉(zhuǎn)偏差有：圍繞X軸旋轉(zhuǎn)的X軸的旋轉(zhuǎn)偏差；
圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)的X軸的旋轉(zhuǎn)偏差；
圍繞Z軸旋轉(zhuǎn)的X軸的旋轉(zhuǎn)偏差；
圍繞X軸旋轉(zhuǎn)的Y軸的旋轉(zhuǎn)偏差；
圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)的Y軸的旋轉(zhuǎn)偏差；
圍繞Z軸旋轉(zhuǎn)的Y軸的旋轉(zhuǎn)偏差；
圍繞X軸旋轉(zhuǎn)的Z軸的旋轉(zhuǎn)偏差；
圍繞Y軸旋轉(zhuǎn)的Z軸的旋轉(zhuǎn)偏差；
圍繞Z軸旋轉(zhuǎn)的Z軸的旋轉(zhuǎn)偏差。
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